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超高純度(UHP)特殊ガス用バルブ

半導体や液晶パネルの製造工程で使用される超高純度特殊ガス用容器・設備に幅広く採用されているバルブ製品群です。長年築き上げてきた弊社独自のノウハウをもって安定したガスフローとバルブ内デッドスペースの極小化を実現し、お客様製造現場における使用上の安全性と生産歩留まりに貢献しております。